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光纖光譜儀在各個(gè)行業(yè)的應(yīng)用
2019-12-25 [1995]
       光纖光譜儀的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛,如農(nóng)業(yè)、天文、汽車、生物、化學(xué)、鍍膜、色度計(jì)量、環(huán)境檢測(cè)、薄膜工業(yè)、食品、寶石檢測(cè)、LED檢測(cè)、印刷、造紙、喇曼光譜、半導(dǎo)體工業(yè)等。下面給大家介紹一些典型應(yīng)用。
  1.顏色測(cè)量 --色度儀,色度計(jì)
  一般來(lái)說(shuō),物體和濃稠液體的顏色測(cè)量可以使用不同的實(shí)驗(yàn)布局,比如使用反射型光纖探頭或積分球。在該測(cè)量中,可以使用波長(zhǎng)范圍在380到780nm,分辨率(FWHM)為5nm的光譜儀;此外,還需要白光連續(xù)光源和白色反射瓦。對(duì)于測(cè)量紡織品、紙張、水果、葡萄酒、鳥(niǎo)類羽毛顏色等不同的應(yīng)用可以使用不同的光纖探頭。
  2.紫外/可見(jiàn)吸收光譜測(cè)量
  液體的吸收率測(cè)量可以用不同的實(shí)驗(yàn)布局和波長(zhǎng)范圍來(lái)實(shí)現(xiàn),如使用浸入型光纖探頭或流動(dòng)樣品池進(jìn)行在線吸收率測(cè)量,或使用樣品固定器進(jìn)行樣品的吸收率測(cè)量。對(duì)于測(cè)量紫外/可見(jiàn)波長(zhǎng)范圍的光譜儀,可以選擇波長(zhǎng)范圍200-1100nm、分辨率1.4nm(FWHM)。此外還需要氘-鹵素?zé)糇鳛楣庠础2煌膽?yīng)用可以選擇不同的光纖探頭。
  3.發(fā)射光譜測(cè)量
  發(fā)射光譜測(cè)量可以用不同的實(shí)驗(yàn)布局和波長(zhǎng)范圍來(lái)實(shí)現(xiàn),還要用到余弦校正器或積分球。發(fā)射光譜測(cè)量可以在紫外/可見(jiàn)和可見(jiàn)/近紅外波長(zhǎng)范圍內(nèi)測(cè)量。
  對(duì)于發(fā)射光譜的測(cè)量,光譜儀可以配置成波長(zhǎng)范圍從200-400nm或350-1100nm,或組合起來(lái)實(shí)現(xiàn)紫外/可見(jiàn)200-1100nm,并可以在美國(guó)海洋光學(xué)公司的定標(biāo)實(shí)驗(yàn)室里進(jìn)行輻射定標(biāo)。定標(biāo)后的實(shí)驗(yàn)布局不能改變,如光纖和勻光器都不能更改。
  為了使實(shí)驗(yàn)布局更靈活,用可見(jiàn)/近紅外定標(biāo)光源(LS-1-CAL)或紫外/可見(jiàn)/近紅外定標(biāo)光源(DH2000-CAL)可以在用戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行定標(biāo)。功能強(qiáng)大的廣州標(biāo)旗軟件可以完成定標(biāo)并載入輻射定標(biāo)數(shù)據(jù)。
  4.LED測(cè)量
  較簡(jiǎn)單而且迅速地測(cè)量LED的整個(gè)光通量的方法就是使用一個(gè)積分球,并把它連接到一個(gè)美國(guó)海洋光學(xué)公司的光譜儀上。該系統(tǒng)可以用鹵素?zé)暨M(jìn)行定標(biāo)(LS-1-CAL-INT),然后用廣州標(biāo)旗軟件從測(cè)量到的光譜分布計(jì)算出相關(guān)參數(shù),并實(shí)現(xiàn)輻射量的測(cè)量。所測(cè)光源的光譜發(fā)光強(qiáng)度還可以用μW/cm2/nm來(lái)計(jì)算、顯示并存儲(chǔ)。另外的窗口還可以顯示大約10個(gè)參數(shù):輻射量μW/cm2, μJ/cm2, μW或μJ;光通量lux或lumen,色軸X, Y, Z, x, y, z, u, v和色溫。
  5.薄膜厚度測(cè)量
  膜厚測(cè)量系統(tǒng)基于白光干涉測(cè)量原理,可以測(cè)量的膜層厚度10nm-50μm,分辨率為1nm。薄膜測(cè)量在半導(dǎo)體晶片生長(zhǎng)過(guò)程中經(jīng)常被用到,因?yàn)榈入x子體刻蝕和淀積過(guò)程需要監(jiān)控;其它應(yīng)用如在金屬和玻璃材料基底上鍍透明光學(xué)膜層也需要測(cè)量膜層厚度。配套的廣州標(biāo)旗應(yīng)用軟件包括豐富的各種常用材料和膜層的n值和k值,可以實(shí)現(xiàn)膜層厚度的在線監(jiān)測(cè),并可以輸出到Excel文件進(jìn)行過(guò)程控制。
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